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 株式会社アイソトロニクス
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スパッタリングターゲット製品実績（化合物)
Sputtering Target Product Actual Achievement(Compound)

材質
Material		 純度
Purity		 形状（最大）
Dimension(Max.)
Al2O3 family 2N~3N φ12inch - 15mm 5*10inch - 15mm
AlN 2N~3N φ12inch - 15mm 5*10inch - 15mm
SiO2 4N φ12inch - 6mm 5*15inch - 0.25inch
TiO2 family 2N~3N φ12inch - 15mm 5*10inch - 15mm
Al2O3+TiC family 2N~3N φ12inch - 15mm 5*10inch - 15mm
CeO2 family 2N~3N φ8inch - 10mm
Ni/Ni alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Cu/Cu alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
ZnO family 2N~3N φ8inch - 10mm 5*15inch - 6mm
ZnS family 2N~3N φ8inch - 10mm 5*10inch - 6mm
Fe2O3 family 2N~3N φ8inch - 10mm



スパッタリングターゲット製品実績（金属)
Sputtering Target Product Actual Achievement(Metal)

材質
Material		 純度
Purity		 形状（最大）
Dimension(Max.)
Al/AL alloy 2N~5N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Si 5N φ8inch - 8mm
Ti/Ti alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 0.25inch
Fe/Fe alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Co/Co alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Ni/Ni alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Cu/Cu alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Cr 2N~3N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Ag/Ag alloy 2N~4N φ12inch - 15mm 5*15inch - 15mm
Mo 3N~4N φ8inch - 6mm 5*15inch - 0.25inch
W 3N~4N φ8inch - 6mm 5*15inch - 0.25inch
Sn alloy 2N~3N 5*15inch - 0.25inch
Sm alloy 2N~3N φ8inch - 10mm 5*10inch - 10mm
Tb alloy 2N~3N φ8inch - 10mm 5*10inch - 10mm

スパッタリングターゲット製品実績 - PDFデータ一括ダウンロード
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〒210-0024 川崎市川崎区日進町9-1-205
TEL：044-210-1200　FAX：044-210-1300　e-mail：iso@isotronics.co.jp